Film Sense FS-1多波長橢偏儀采用壽命長 LED 光源和非移動 式部件橢偏探測器，可在操作簡單的緊湊型橢偏儀中實現(xiàn)快速和可 靠地薄膜測量。

大多數(shù)厚度 0–1000 nm 的透明薄膜只需要簡單的 1 秒測量，就 可以獲得非常精密和的數(shù)據(jù)。還可以測量大多數(shù)樣品的光學常 數(shù)和其他薄膜特性。

Film Sense FS-1多波長橢偏儀 這款功能強大的多波長橢偏儀，售價只是單一波長橢偏儀

和光譜橢偏儀的中等水平。FS-1 可應用于研究實驗室，超凈間，原位工藝腔體以及工業(yè)質(zhì)量控制等諸多領(lǐng)域

主要特點

? 4 個 LED 光源：藍色（465nm），綠色（525nm）， 黃色（580nm），紅色（635nm）

? 橢偏儀探測器中無可移動部件

? 的膜厚精密性，大多數(shù)樣品精密度優(yōu)于 0.001nm（1 秒獲取數(shù)據(jù)），對于亞單原子薄膜精密度等于0.001nm

? 集成計算機，可實現(xiàn)對設(shè)備控制和數(shù)據(jù)分析，自帶 瀏覽器界面，可兼容任何現(xiàn)代計算機，筆記本或平 板電腦

優(yōu)勢

? 壽命長（長達 50,000 小時），更換 LED 燈便宜，校準時 間短或無需 PM 程序

? 快速測量（10ms 內(nèi)獲得多波長數(shù)據(jù)）和性能穩(wěn)定

? 測量，只有橢偏儀可以實現(xiàn)

? 軟件設(shè)置和維護簡單

標準 FS-1 配置

? 65°入射角

? 手動放置樣品和調(diào)節(jié)高度

? 樣品尺寸大直徑 200mm 和厚度 23mm

? 樣品偏轉(zhuǎn)范圍+/-20

? 樣品上光束尺寸 5 x 12 mm

? 結(jié)構(gòu)緊湊(180 x 400 mm) 和輕巧(4.8 kg)

性能

FS-1 多波長橢偏儀擅長測量膜厚范圍 0-1000nm 的透明單一薄 膜的厚度和折射率。下表列出的是針對各種不同樣品，包括多 層膜樣品，F(xiàn)S-1 獲得的標準測量精密度和性數(shù)據(jù)。

應用領(lǐng)域

? 半導體行業(yè)：二氧化硅和氮化物，高介電和低介電 材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻膠

? 光學薄膜行業(yè)：高和低指數(shù)薄膜，如 SiO2, TiO2, Ta2O5, MgF2 等

? 顯示屏行業(yè)：TCO（如 ITO），非晶硅薄膜，有機薄 膜（OLED 技術(shù)）

? 數(shù)據(jù)存儲行業(yè)：寶石，如碳膜

? 工藝研發(fā)：原位表征薄膜沉積（速率和光學常數(shù)） VS 工藝條件，可兼容 MBE, MOCVD, ALD 和磁控濺射 等設(shè)備

? 化學和生物：在液體細胞實驗中探測亞單原子層材 料吸附

? 工業(yè)：在線監(jiān)測和控制膜厚

In Situ 在線測量功能

? 亞單原子膜厚精密度

? 多工藝條件下測定薄膜光學常數(shù) n&k 和沉積速率，不 會破壞真空

? 監(jiān)測和控制多層膜結(jié)構(gòu)沉積

? FS-API 界面，外置軟件控制（兼容 LabVIEW ）

? 兼容大多數(shù)薄膜沉積技術(shù)：磁控濺射，ALD，MBE，MOCVD，電子束蒸發(fā)等

In Situ 在線測量

產(chǎn)品包括 FS-1多波長橢偏儀，帶緊湊自動 mapping 樣品 臺，可以實現(xiàn)快速，和可靠的薄膜均勻性測量。

特點和參數(shù)

? 4 段波長的橢偏數(shù)據(jù)（465, 525, 580, 635 nm），壽命長 的 LED 光源，探測器內(nèi)無可移動部件

? 可對 0-1000nm 透明薄膜進行的厚度測量

? 標準濃厚重復性 0.015 nm

? 集成聚焦探針，標準光斑尺寸 0.8 x 1.9 mm （其他尺寸 可選）

? 電動 Z 軸樣品臺自動準直

? 靈活掃描圖案編輯器

? 測量參數(shù)等值線繪制

聚焦光束選件

?樣品上光束尺寸減小到 0.8 x 1.9 mm 或 0.3 x 0.7 mm

聚焦光束檢測

聚焦光束檢測系統(tǒng)包括一個 FS-1 多波長橢偏儀，帶光束聚焦光學器件和一個手動位移臺。該系統(tǒng) 非常適合用于手動檢測和在圖案化半導體晶圓上 進行質(zhì)量控制測量。

?可進行科研測量，帶小尺寸光斑和相機成像功能

?手動位移臺，可容納 4’，5’，6’晶圓

?樣品上光束尺寸 0.3 x 0.7 mm

?樣品上光束位置視頻圖像

FS-XY150

? 標準晶圓 map 時間：60s（150mm 晶圓上取 49 個點）

? 結(jié)構(gòu)緊湊：600x600 mm, 16 kg

? 樣品臺行程（X,Y）：150 x 150 mm, 精度：5 μm

FS-RT300

? 標準晶圓 map 時間：90s（300mm 晶圓上取 49 個點）

? 結(jié)構(gòu)緊湊：400x500 mm, 22 kg

? 樣品臺行程：R (線性) ：150 mm, 精度：12 μm

? 角度（旋轉(zhuǎn)）360°，精度：0.1°