3D光學(xué)輪廓儀是一種用于材料科學(xué)、電子與通信技術(shù)領(lǐng)域的分析儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。

　　3D光學(xué)輪廓儀對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。一句話概括就是測量超光滑表面（納米級(jí)別）微觀形貌。

　　3D光學(xué)輪廓儀產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　光學(xué)輪廓儀對(duì)各種產(chǎn)品，部件和材料的表面輪廓，粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺(tái)階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

　　3D光學(xué)輪廓儀應(yīng)用：

　　傳統(tǒng)的機(jī)械零件由于受加工設(shè)備的限制，對(duì)精度包括平面度，粗糙度的要求常規(guī)下停留在微米量級(jí)。但隨著技術(shù)發(fā)展，人們對(duì)機(jī)械零件的加工精度要求開始向納米量級(jí)邁進(jìn)，設(shè)備加工精度的提高帶動(dòng)檢測技術(shù)的發(fā)展，傳統(tǒng)的檢測手段包括接觸式和2D方式的檢測方法對(duì)檢測納米量級(jí)精度的機(jī)械零件有很大的局限性。

　　3D光學(xué)輪廓儀初應(yīng)用在光學(xué)加工行業(yè)時(shí)，其3D、高速、精密、可靠和穩(wěn)定，開始引起加工人士的注意并開始應(yīng)用。3D光學(xué)輪廓儀已在汽車發(fā)動(dòng)機(jī)噴油嘴、半導(dǎo)體切割刀具、人工關(guān)節(jié)制造、量塊標(biāo)定等方面有的應(yīng)用。一些特定功能如平面度、粗糙度、直線度和高度差等在機(jī)械加工檢測中呈現(xiàn)出新的應(yīng)用。